半導體氣體用調整器 (I)超高純度氣體用調整器 --- SUPER-TORR之特點 ---- --0.1μm 等級10之無塵室內組裝.(但S-TORRIII磨光等級X者除外) --連接部位採用熔接(本體/接管).金屬氣封,降低外部洩漏. --根據接觸氣體金屬部位之複合電解磨光處理(*1)及縮小容積至脫泡,塵粒減少. --S-TORRII系列用於強腐蝕性氣體,備有採用接觸金屬部位使用高耐防蝕性合金赫史特合金之1800系列及重要部位使用赫史特合金之E1800系列調整器.強化並提昇腐蝕性氣體可使用期間及安全性.(*2) --S-TORRIII系列為能處理腐蝕性氣體,重要部位採用赫史特合金之[SH系列]調整器為標準品. --用於負壓控制,低蒸氣壓氣體,S-TORR系列備有[膜片/閥座連接型]之A10系列調整器. --備有針對各種氣體最適宜之樹脂,可充分滿足各項要求. --內藏防範由上流側混入液物之過濾器, 大幅降低內部洩漏.(但S-TORR H50WV系列/S-TORR 150系列除外) --全數實施氦氣洩漏測試,塵粒測試.(但S-TORRIII之塵粒測試為選購品) --小型但展現高性能流量. --高壓氣體認證品可製作. (*1)S-TORRIII系列含無磨光,計有3種磨光規格為準. (*2)關於強腐蝕性氣體,腐蝕性氣體,依據客戶使用方式,可供使用期限差異頗大,一般SUS與赫史特合金相較,後者使用故障率較小.另外,因壓力計,膜片等壁厚較薄部分腐蝕外漏發生較少. .